以下是模擬入射光直徑3mm的532nm雷射，搭配EFL=100mm，掃描角度15度的F-theta掃描鏡時，在中心、掃描角度7.5度與15度時光點的比較：
明顯看出當掃描角度越大時，焦點尺寸偏差越大，一旦超出容忍值，就不能使用該角度去做加工，這個原因很簡單，因為當掃描角度越大時，光束與加工平面的夾角越大，因此光點的幾何形狀自然跟著改變。
如果在F-theta掃描鏡前面置入一片小擴散度的光束整形繞射片(Small TH)，則可以明顯的改善這個狀況，以下是置入方形、圓形與線形的雷射光束整形繞射片後之模擬結果：
1. 置入方形平頂光整形繞射片之模擬結果：
2. 置入圓形平頂光整行繞射片之模擬結果：
3. 置入線形平頂光整形繞射片之模擬結果：
由模擬結果可以看得出來，聚焦光點尺寸大了約1.54倍，而掃描到邊緣時與中心焦點的偏差明顯減少，而圓形平頂光的整體敏感度相較於方形與線形更小，適用於全場之掃描應用；方形平頂光的XY軸對稱性佳，適用於方形或矩形之掃描應用；線形平頂光則適用於1D的掃描應用。
由此可知安裝了平頂光束整形繞射元件之雷射掃描系統，將會有以下的優點：
1. 產生頂部均勻邊緣陡峭的焦點，提高加工品質
2. 降低掃描範圍內焦點尺寸的偏差，以使可應用之掃描範圍增大，提高加工效率
除此之外，這種平頂光束整形繞射元件，可選擇Fused Silica或ZnSe為基材，鍍上抗反射膜能勝任UV-IR波長之高功率、高能量雷射的應用，而只有單一片鏡片，占用空間小，便於安裝，且安裝後仍保持原本F-theta掃描鏡的工作距離，不需大改機台。
使用此平頂光整形繞射片建議搭配光束品質M2<1.3的雷射，而掃描振鏡與F-Theta掃描鏡之可視孔徑(Clear Aperture)需大於入射光束直徑的2.2倍以上，以達到最佳效果。
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